晶圆清洗装置及修边设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322339612.0

申请日：

2023-08-30

公开(公告)号：

CN220651971U

公开(公告)日：

2024-03-22

发明(设计)人：

朱松万先进谢亚楠张怀东边逸军

申请人：

宁波芯丰精密科技有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683 B24B9/06 B24B41/00 B24B41/06 B08B3/02

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孙晶晶

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆修边设备 [P].

朱松 ;

万先进 ;

田鑫 ;

张怀东 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220651967U ,2024-03-22

[2]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[3]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[4]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[5]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218282848U ,2023-01-13

[6]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

陈章晏 ;

云巴图 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981177U ,2020-01-21

[7]

晶圆清洗装置及清洗方法 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN115228821B ,2024-11-22

[8]

气幕防尘装置及晶圆修边设备 [P].

万先进 ;

钱宇强 ;

朱松 ;

张怀东 ;

田鑫 ;

李帆 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220784478U ,2024-04-16

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28

[10]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

董鹏 .

中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23

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