多晶硅棒和单晶硅的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810915033.7
申请日
2018-08-13
公开(公告)号
CN109694076B
公开(公告)日
2024-03-19
发明(设计)人
宫尾秀一 石田昌彦 星野成大 祢津茂义
申请人
信越化学工业株式会社
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C01B33/035
IPC分类号
C30B29/06 C30B15/00 C30B13/00
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人
盛曼;金龙河
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅棒和单晶硅的制造方法 [P]. 
宫尾秀一 ;
石田昌彦 ;
星野成大 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN109694076A ,2019-04-30
[2]
多晶硅棒、多晶硅棒的制造方法以及单晶硅 [P]. 
宫尾秀一 ;
祢津茂义 ;
冈田哲郎 .
中国专利 :CN106255663B ,2016-12-21
[3]
多晶硅块、多晶硅棒及单晶硅的制造方法 [P]. 
宫尾秀一 ;
祢津茂义 ;
星野成大 ;
冈田哲郎 .
中国专利 :CN107954427A ,2018-04-24
[4]
多晶硅棒和多晶硅棒的制造方法 [P]. 
宫尾秀一 ;
星野成大 ;
冈田哲郎 ;
祢津茂义 ;
石田昌彦 .
中国专利 :CN109252215A ,2019-01-22
[5]
多晶硅棒的选择方法及单晶硅的制造方法 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN103547713B ,2014-01-29
[6]
多晶硅的晶体取向度评价方法、多晶硅棒的选择方法、多晶硅棒、多晶硅块以及单晶硅的制造方法 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN104395740A ,2015-03-04
[7]
多晶硅棒的制造方法和多晶硅棒 [P]. 
宫尾秀一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN106660809A ,2017-05-10
[8]
多晶硅的晶体取向度评价方法、多晶硅棒的选择方法及单晶硅的制造方法 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN104220867A ,2014-12-17
[9]
多晶硅的制造方法以及单晶硅的制造方法 [P]. 
丁欣 .
中国专利 :CN106283180A ,2017-01-04
[10]
多晶硅熔化参数的检测方法、多晶硅、单晶硅及其制造方法 [P]. 
宮尾秀一 .
中国专利 :CN110133017B ,2019-08-16