氯硅烷提纯装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322181430.5
申请日
2023-08-14
公开(公告)号
CN220723593U
公开(公告)日
2024-04-05
发明(设计)人
陈学辉 孙彬 韩秀娟 齐兰兰 闫家强 吴锋 田新
申请人
江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请人地址
221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号
IPC主分类号
C01B33/107
IPC分类号
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
唐华健
法律状态
授权
国省代码
江苏省 徐州市
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共 50 条
[1]
氯硅烷提纯系统 [P]. 
姜利霞 ;
严大洲 ;
杨永亮 ;
赵雄 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN203820469U ,2014-09-10
[2]
氯硅烷提纯方法 [P]. 
姜利霞 ;
严大洲 ;
杨永亮 ;
赵雄 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN103950937A ,2014-07-30
[3]
氯硅烷提纯系统 [P]. 
姜利霞 ;
严大洲 ;
杨永亮 ;
赵雄 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN103950938A ,2014-07-30
[4]
一种二氯硅烷精馏提纯装置 [P]. 
姜永要 ;
张城乐 ;
俞冬雷 ;
郑春宁 .
中国专利 :CN222841528U ,2025-05-09
[5]
用于混合氯硅烷提纯的精馏系统 [P]. 
张婧 ;
鲍守珍 ;
宗冰 ;
李彦 .
中国专利 :CN214763367U ,2021-11-19
[6]
从氯硅烷中提纯三氯氢硅的系统 [P]. 
濮希杰 ;
李锋 ;
王利强 ;
张艳春 ;
张晓峰 .
中国专利 :CN203959832U ,2014-11-26
[7]
氯硅烷的提纯方法 [P]. 
杉村真 ;
松音一正 ;
小林峯登 ;
松田英博 ;
松泽尧 .
中国专利 :CN102482106A ,2012-05-30
[8]
一种用于氯硅烷提纯的精馏系统 [P]. 
翟占利 ;
刘华鹏 ;
范小刚 .
中国专利 :CN217041359U ,2022-07-26
[9]
一种反应除杂提纯氯硅烷的装置系统 [P]. 
吕磊 ;
马军 ;
周舟 ;
郄丽曼 .
中国专利 :CN206985726U ,2018-02-09
[10]
一种用于还原氯硅烷提纯的精馏节能装置 [P]. 
晋正茂 ;
董燕军 ;
武振国 ;
李天客 .
中国专利 :CN209411790U ,2019-09-20