一种溅射镀膜基片架

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322473457.1
申请日
2023-09-12
公开(公告)号
CN220788772U
公开(公告)日
2024-04-16
发明(设计)人
舒波 洪滔 程浩东 包瑞
申请人
安合鑫光电科技(苏州)有限公司
申请人地址
215100 江苏省苏州市相城区黄埭镇胡桥村长平路90号1楼东南角
IPC主分类号
C23C14/56
IPC分类号
C23C14/34 C23C14/50
代理机构
六安创新傲风知识产权代理事务所(普通合伙) 34258
代理人
黎子键
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种镀膜基片架 [P]. 
王龙 ;
万鑫 ;
潘明明 ;
金林涛 .
中国专利 :CN205899183U ,2017-01-18
[2]
镀膜基片架 [P]. 
徐旻生 ;
庄炳河 ;
张永祺 ;
张永胜 ;
王应斌 ;
龚文志 .
中国专利 :CN203741408U ,2014-07-30
[3]
一种溅射镀膜机基片架整体取出装置 [P]. 
毛念新 ;
黄翔鄂 ;
严仲君 .
中国专利 :CN211645372U ,2020-10-09
[4]
一种溅射镀膜工件笼架 [P]. 
周征华 ;
宋加杰 ;
高佳 ;
赵金雷 ;
王随随 .
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[5]
一种新型立式真空溅射基片架 [P]. 
张俊峰 ;
赵子东 ;
许春立 ;
张大剑 .
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[6]
一种圆形衬底基片镀膜基片架 [P]. 
高奕恒 ;
高昆钰 ;
高璐 ;
张睿欣 ;
曹红霞 .
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[7]
基片架镀膜装置 [P]. 
许生 ;
庄炳河 .
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[8]
一种显示屏基片镀膜基片架 [P]. 
潘明明 ;
高坤旭 ;
李文铭 ;
徐国平 .
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[9]
一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架 [P]. 
郭翔宇 .
中国专利 :CN209210914U ,2019-08-06
[10]
镀膜基片架 [P]. 
夏正卫 ;
刘洋 ;
陈玉梅 ;
张心凤 .
中国专利 :CN307327726S ,2022-05-10