一种用于氧化镓的化学机械抛光液及抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311732738.2

申请日：

2023-12-15

公开(公告)号：

CN117720858A

公开(公告)日：

2024-03-19

发明(设计)人：

张松源朱逸军刘江华

申请人：

芯越微电子材料（嘉兴）有限公司

申请人地址：

314200 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道新明路901号3号楼

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/306

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

杨华

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省嘉兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	公开	公开
2024-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20231215

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

马健 ;

姚颖 ;

周靖宇 ;

黄悦锐 ;

倪宇飞 ;

李恒 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN113122142A ,2021-07-16

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

马健 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

王曦 ;

郑闪闪 ;

蔡鑫元 ;

唐浩杰 ;

周靖宇 ;

张然 ;

魏佳 ;

陆弘毅 .

中国专利 :CN118271968A ,2024-07-02

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

马健 ;

姚颖 ;

周靖宇 ;

黄悦锐 ;

倪宇飞 ;

李恒 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN113122142B ,2024-04-12

[4]

一种化学机械抛光液及抛光方法 [P].

刘江华 ;

张松源 ;

朱逸军 .

中国专利 :CN117431013A ,2024-01-23

[5]

一种化学机械抛光液及抛光方法 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

陈宝明 .

中国专利 :CN103897601B ,2014-07-02

[6]

一种化学机械抛光液及抛光方法 [P].

刘江华 ;

张松源 ;

朱逸军 .

中国专利 :CN117431013B ,2024-04-26

[7]

一种化学机械抛光液及抛光方法 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103897602B ,2014-07-02

[8]

化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 ;

肖正龙 ;

荆建芬 .

中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24

[9]

化学机械抛光液及其抛光方法 [P].

周艳 ;

罗海梅 ;

陈高攀 ;

罗桂海 ;

潘立焱 ;

张楚红 .

中国专利 :CN117511412A ,2024-02-06

[10]

氮化镓化学机械抛光液及其制备方法 [P].

王永光 ;

钮市伟 ;

寇清明 ;

陈瑶 ;

赵栋 ;

朱玉广 ;

刘卫卫 .

中国专利 :CN110205034A ,2019-09-06

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