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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-10 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 37/26 变更事项:专利权人 变更前:卡伯特微电子公司 变更后:CMC材料股份有限公司 变更事项:地址 变更前:美国伊利诺伊州 变更后:美国伊利诺伊州 |
| 2012-06-27 | 授权 | 授权 |
| 2010-07-14 | 公开 | 公开 |
| 2010-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005742775 IPC(主分类):B24D 11/00 专利申请号:2008801027610 申请日:20080813 |