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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-16 | 授权 | 授权 |
| 2022-02-15 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/32 登记生效日:20220129 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所 变更后权利人:宁波奥深科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 变更后权利人:315000 浙江省宁波市高新区沧海路189弄2号9号楼A41 |
| 2017-05-31 | 公开 | 公开 |
| 2017-06-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729313842 IPC(主分类):C23C 14/32 专利申请号:2016110488792 申请日:20161123 |