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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-03-15 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-17 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/677 登记生效日:20230105 变更事项:专利权人 变更前权利人:江苏吉星新材料有限公司 变更后权利人:优然沃克(北京)科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:212200 江苏省镇江市扬中市油坊镇新材料工业园区 变更后权利人:100102 北京市朝阳区豆各庄黄厂西路1号A1栋二层20628 |