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一种芯片自动下料输送装置
被引：0
申请号：
CN202210197620.3
申请日：
2022-03-02
公开(公告)号：
CN114464562A
公开(公告)日：
2022-05-10
发明(设计)人：
张啸云
蒋云武
申请人：
申请人地址：
215600 江苏省苏州市张家港高新技术产业开发区华夏科技园3号厂房北侧底层
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456
代理人：
金星
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-10 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20220302 |