研磨液供给装置及研磨机

被引：0

申请号：

CN202210552475.6

申请日：

2022-05-18

公开(公告)号：

CN114833725A

公开(公告)日：

2022-08-02

发明(设计)人：

刘志伟周庆亚刘福强田洪涛

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B24B3734 H01L21306

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

王月

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20220518
2022-08-02	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台 [P].

吴科 ;

文静 ;

张传民 .

中国专利 :CN105234823A ,2016-01-13

[2]

一种研磨机金刚石研磨液自动供给装置 [P].

黄金民 ;

范玉辉 ;

赵桂珍 ;

黄金江 ;

黄鸿琦 ;

李振华 .

中国专利 :CN208323101U ,2019-01-04

[3]

一种双端面研磨机研磨液循环式供给装置 [P].

黄金民 ;

范玉辉 ;

黄金江 .

中国专利 :CN216577003U ,2022-05-24

[4]

研磨装置及研磨机 [P].

吴家铁 .

中国专利 :CN223695678U ,2025-12-23

[5]

研磨装置及研磨机 [P].

吴家铁 .

中国专利 :CN223695677U ,2025-12-23

[6]

研磨装置、研磨机及研磨方法 [P].

陈兴松 .

中国专利 :CN112518573B ,2021-03-19

[7]

研磨机构及研磨机 [P].

郭建刚 ;

陈建 ;

彭达胜 .

中国专利 :CN212326214U ,2021-01-12

[8]

研磨机构及研磨机 [P].

郭建刚 ;

陈建 ;

彭达胜 .

中国专利 :CN111973015A ,2020-11-24

[9]

研磨机用喷淋装置及研磨机 [P].

廖民安 .

中国专利 :CN205254793U ,2016-05-25

[10]

研磨装置及碳刷研磨机 [P].

金一平 ;

陈列 ;

金陈安 .

中国专利 :CN207771562U ,2018-08-28

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