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曝光方法和曝光设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN96112248.X
申请日：
1996-07-28
公开(公告)号：
CN1151535A
公开(公告)日：
1997-06-11
发明(设计)人：
手达郎
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张志醒;王岳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2002-07-10 | 授权 | 授权 |
| 2006-09-27 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |
| 2003-05-14 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:日本电气株式会社 变更后权利人:恩益禧电子股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本神奈川县川崎市 登记生效日:20030404 |
| 1997-05-14 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1997-06-11 | 公开 | 公开 |