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一种高性能传感器的检测设备及其检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311744525.1
申请日：
2023-12-19
公开(公告)号：
CN117423635B
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
杨超
冯高强
申请人：
创视知联科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215011 江苏省苏州市高新区金沙江路265号1号楼5层501-503
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/67
代理机构：
苏州睿翼专利代理事务所(普通合伙) 32514
代理人：
王金华
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-27 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20231219 |
| 2024-01-19 | 公开 | 公开 |