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利用聚焦粒子束对样品进行成像和处理的装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311035631.2
申请日：
2023-08-16
公开(公告)号：
CN117594404A
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
D·施瓦兹
D·莱姆勒
M·施奈尔
T·贝克
F·纽伯格
申请人：
卡尔蔡司SMT有限责任公司
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址：
德国上科亨
IPC主分类号：
H01J37/28
IPC分类号：
H01J37/26
H01J37/244
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王蕊瑞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/28申请日:20230816 |
| 2024-02-23 | 公开 | 公开 |