一种检测碳化硅中碳化硅含量的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310731778.5
申请日
2013-12-27
公开(公告)号
CN103822841A
公开(公告)日
2014-05-28
发明(设计)人
徐波 曹静华 刘涛 杨碧英 郭享平 张献义
申请人
申请人地址
614900 四川省乐山市沙湾区王田路
IPC主分类号
G01N500
IPC分类号
代理机构
成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214
代理人
钱成岑;韩雪
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种检测复合碳化硅中碳化硅含量的方法 [P]. 
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[2]
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[3]
碳化硅衬底、碳化硅锭以及制造碳化硅衬底和碳化硅锭的方法 [P]. 
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[4]
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[5]
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堂本千秋 ;
正木克明 ;
柴田和也 ;
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[6]
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[7]
碳化硅 [P]. 
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[8]
一种碳化硅材料制备方法、碳化硅材料及碳化硅部件 [P]. 
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[9]
碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
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沈钟珉 ;
梁殷寿 ;
李演湜 ;
张炳圭 ;
崔正宇 ;
高上基 ;
具甲烈 ;
金政圭 .
中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04
[10]
碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P]. 
朴钟辉 ;
沈钟珉 ;
梁殷寿 ;
李演湜 ;
张炳圭 ;
崔正宇 ;
高上基 ;
具甲烈 ;
金政圭 .
韩国专利 :CN112746317B ,2024-05-31