衬底处理装置用舟皿

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201330594130.9

申请日：

2013-11-27

公开(公告)号：

CN302931659S

公开(公告)日：

2014-09-03

发明(设计)人：

森田慎也松本尚树高木康祐

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;王娟娟

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移主分类号:15-99 登记生效日:20181205 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社日立国际电气变更后权利人:株式会社国际电气变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都
2014-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底处理装置用舟皿 [P].

前田喜世彦 ;

高木康祐 ;

松本尚树 ;

浦野裕司 ;

小前泰彰 .

中国专利 :CN302760850S ,2014-03-12

[2]

衬底处理管、衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

李贤珠 ;

金炳勋 ;

金玹彻 ;

李在珩 ;

孔炳焕 .

韩国专利 :CN117364058A ,2024-01-09

[3]

衬底处理液、衬底处理方法及衬底处理装置 [P].

上田大 ;

塙洋祐 .

中国专利 :CN113388837A ,2021-09-14

[4]

衬底处理方法、衬底处理装置及衬底处理液 [P].

国枝省吾 ;

佐佐木悠太 ;

塙洋祐 .

日本专利 :CN117766376A ,2024-03-26

[5]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302511074S ,2013-07-24

[6]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302527184S ,2013-08-07

[7]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302511073S ,2013-07-24

[8]

衬底处理装置用旋转器 [P].

加贺谷彻 ;

嶋田宽哲 ;

阿部贤卓 .

中国专利 :CN302511072S ,2013-07-24

[9]

衬底处理装置用气化器 [P].

立野秀人 ;

梅川纯史 ;

绀谷忠司 ;

奥野正久 ;

定田拓也 .

中国专利 :CN302742600S ,2014-02-19

[10]

衬底处理方法及衬底处理装置 [P].

藤原直澄 ;

尾辻正幸 ;

加藤雅彦 ;

佐佐木悠太 ;

山口佑 ;

髙桥弘明 .

中国专利 :CN112236846A ,2021-01-15

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