用于图案化磁性隧道结的硬掩模

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680029460.4

申请日：

2016-05-11

公开(公告)号：

CN107660315A

公开(公告)日：

2018-02-02

发明(设计)人：

薛林马亨德拉·帕卡拉陈浩安在洙

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L4302

IPC分类号：

H01L4312

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-02	公开	公开
2022-12-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 43/02 申请公布日:20180202
2018-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 43/02 申请日:20160511

共 50 条

[1]

一种四层掩模图案化磁性隧道结的方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 .

中国专利 :CN107331770A ,2017-11-07

[2]

用于图案化磁隧道结的方法 [P].

晴云·杨 .

中国专利 :CN110741488A ,2020-01-31

[3]

用于图案化磁隧道结的方法 [P].

晴云·杨 .

日本专利 :CN110741488B ,2024-02-02

[4]

用于多步骤磁性隧道结(MTJ)蚀刻的替代导电硬掩模 [P].

Y·陆 ;

C·朴 ;

W-C·陈 .

中国专利 :CN106104830B ,2016-11-09

[5]

磁性隧道结 [P].

吴昊 ;

张佳 ;

余天 ;

张晓光 ;

韩秀峰 .

中国专利 :CN103531707A ,2014-01-22

[6]

一种刻蚀磁性隧道结导电硬掩模的方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 ;

郭一民 ;

陈峻 .

中国专利 :CN110098320A ,2019-08-06

[7]

一种磁性隧道结双层导电硬掩模的刻蚀方法 [P].

张云森 .

中国专利 :CN107331768A ,2017-11-07

[8]

使用两个掩模的磁性隧道结元件的制造方法 [P].

升·H·康 ;

李霞 ;

顾时群 ;

马修·M·诺瓦克 .

中国专利 :CN102007614A ,2011-04-06

[9]

使用单个掩模形成磁性隧道结的方法 [P].

升·H·康 ;

戴维·班 ;

李康浩 .

中国专利 :CN102017157A ,2011-04-13

[10]

具有非均一电流路径的自旋力矩驱动的磁性隧道结及用于形成所述磁性隧道结的复合硬掩模架构 [P].

陈维川 ;

升·H·康 ;

朱晓春 .

中国专利 :CN102754210B ,2012-10-24

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