一种显影机高效烘干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720035558.2

申请日：

2017-01-12

公开(公告)号：

CN206460259U

公开(公告)日：

2017-09-01

发明(设计)人：

刘思娟

申请人：

申请人地址：

514021 广东省梅州市东升工业园AD9

IPC主分类号：

G03F740

IPC分类号：

代理机构：

北京汇众通达知识产权代理事务所(普通合伙) 11622

代理人：

梁明升

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/40 申请日:20170112 授权公告日:20170901 终止日期:20190112
2017-09-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种显影机的烘干装置 [P].

毛晚林 ;

高峰 .

中国专利 :CN205507363U ,2016-08-24

[2]

一种显影机的烘干装置 [P].

孔令轩 .

中国专利 :CN215832354U ,2022-02-15

[3]

一种匀胶显影机硅片烘干装置 [P].

吴想 ;

叶诚 .

中国专利 :CN218120371U ,2022-12-23

[4]

一种热处理装置及显影机 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN213876315U ,2021-08-03

[5]

一种显影机高效消泡装置 [P].

刘思娟 .

中国专利 :CN206400268U ,2017-08-11

[6]

一种三区显影机 [P].

金松芸 .

中国专利 :CN203720530U ,2014-07-16

[7]

显影机传动装置及显影机 [P].

朱攀 ;

叶超 ;

王涛 ;

郑铁元 ;

周子卿 ;

金基用 .

中国专利 :CN202794852U ,2013-03-13

[8]

一种高效全自动显影机 [P].

徐源来 .

中国专利 :CN206805139U ,2017-12-26

[9]

张颖 .

中国专利 :CN208076922U ,2018-11-09

[10]

江家谊 .

中国专利 :CN211826897U ,2020-10-30

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