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晶圆几何参数的测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011569046.7
申请日：
2020-12-25
公开(公告)号：
CN112729158B
公开(公告)日：
2021-04-30
发明(设计)人：
曾安
申请人：
申请人地址：
210000 江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦1849室
IPC主分类号：
G01B1124
IPC分类号：
G01B1116
G01B1130
G01B1106
代理机构：
北京布瑞知识产权代理有限公司 11505
代理人：
秦卫中
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20201225 |
| 2021-04-30 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-27 | 授权 | 授权 |