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一种砷化镓外延检测设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023084133.1
申请日：
2020-12-18
公开(公告)号：
CN215115930U
公开(公告)日：
2021-12-10
发明(设计)人：
黄英俊
马军
申请人：
申请人地址：
201613 上海市松江区中山街道明南路85号15幢1层
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
代理机构：
北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577
代理人：
丁彦峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-10 | 授权 | 授权 |