晶圆及其制作方法、半导体器件

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专利类型
发明
申请号
CN201910579219.4
申请日
2019-06-28
公开(公告)号
CN112151439A
公开(公告)日
2020-12-29
发明(设计)人
吴秉桓
申请人
申请人地址
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号
H01L21764
IPC分类号
H01L21768
代理机构
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人
王辉;阚梓瑄
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆及其制作方法、半导体器件 [P]. 
吴秉桓 .
中国专利 :CN112151368A ,2020-12-29
[2]
晶圆及其制作方法、半导体器件 [P]. 
吴秉桓 .
中国专利 :CN112151439B ,2025-05-30
[3]
晶圆及其制作方法、半导体器件 [P]. 
吴秉桓 .
中国专利 :CN112151368B ,2025-05-30
[4]
半导体晶圆和半导体器件及其制作方法 [P]. 
袁述 .
中国专利 :CN101542759B ,2009-09-23
[5]
晶圆及半导体器件 [P]. 
吴秉桓 .
中国专利 :CN210015846U ,2020-02-04
[6]
晶圆及半导体器件 [P]. 
吴秉桓 .
中国专利 :CN210110749U ,2020-02-21
[7]
晶圆清洗方法及半导体器件制作方法 [P]. 
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中国专利 :CN111223756B ,2020-06-02
[8]
晶圆的表面处理方法、半导体器件及其制作方法 [P]. 
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[9]
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肖文静 ;
梅立波 ;
王欢 ;
肖亮 ;
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[10]
半导体器件及其制备方法、半导体晶圆 [P]. 
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许明伟 ;
樊晓兵 .
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