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用于漂移补偿的光刻装置和方法
被引：0
申请号：
CN202180009166.8
申请日：
2021-01-04
公开(公告)号：
CN114945872A
公开(公告)日：
2022-08-26
发明(设计)人：
R·德金德伦
T·甘
T·R·唐尼
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
张宁;杨飞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-26 | 公开 | 公开 |