包括聚酰亚胺层的叠层组件的蚀刻方法

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专利类型
发明
申请号
CN02106404.0
申请日
2002-02-27
公开(公告)号
CN1285244C
公开(公告)日
2003-01-29
发明(设计)人
改森信吾 野中毅 越牟田聪 鹤ケ崎正人
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
H05K306
IPC分类号
H01L21306 B32B1508 G03F700
代理机构
北京市柳沈律师事务所
代理人
赵仁临;巫肖南
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
包括聚酰亚胺层的膜电极组件 [P]. 
尤尔根·帕夫利克 ;
约亨·鲍尔梅斯特 ;
克利斯托弗·帕德贝格 .
中国专利 :CN100340024C ,2005-09-28
[2]
含聚酰亚胺的膜层及蚀刻含聚酰亚胺的膜层的方法 [P]. 
林志成 ;
吕奇明 .
中国专利 :CN103571189A ,2014-02-12
[3]
聚酰亚胺薄膜、聚酰亚胺金属叠层体及其制造方法 [P]. 
川口将生 ;
大坪英二 ;
津田武 ;
田原修二 ;
饭田健二 .
中国专利 :CN101189287B ,2008-05-28
[4]
检查包括光敏聚酰亚胺层的物体 [P]. 
Z·本埃泽尔 ;
希蒙·科伦 ;
阿姆农·梅纳赫姆 .
中国专利 :CN110118737A ,2019-08-13
[5]
聚酰亚胺层的去除方法 [P]. 
魏旭东 ;
季骏 ;
虞嘉玮 ;
许力恒 .
中国专利 :CN121011501A ,2025-11-25
[6]
聚酰亚胺层的制备方法 [P]. 
王吉伟 ;
高留春 ;
眭利民 ;
牟亮伟 .
中国专利 :CN109979800A ,2019-07-05
[7]
聚酰亚胺层的制造方法 [P]. 
徐涛 ;
陈宏 ;
王卉 ;
付永琴 ;
曹子贵 .
中国专利 :CN105810567B ,2016-07-27
[8]
热塑性聚酰亚胺、使用该聚酰亚胺的层合聚酰亚胺薄膜以及金属箔层合聚酰亚胺薄膜 [P]. 
霞健一 ;
松村宣夫 .
中国专利 :CN101484500A ,2009-07-15
[9]
聚酰亚胺金属叠层板及其制造方法 [P]. 
大坪英二 ;
田代雅之 ;
森峰宽 ;
小林正尚 ;
广田幸治 ;
児玉洋一 .
中国专利 :CN1209240C ,2003-06-25
[10]
透明聚酰亚胺叠层体及其制造方法 [P]. 
坂田佳广 ;
福川健一 ;
冈崎真喜 ;
浦上达宣 ;
大久保敦 .
中国专利 :CN104582960A ,2015-04-29