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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-04-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101714184321 IPC(主分类):G03F 7/022 专利号:ZL028032098 变更事项:专利权人 变更前权利人:AZ电子材料IP(日本)株式会社 变更后权利人:默克专利有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:德国达姆施塔特 登记生效日:20150407 |
| 2005-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2004-12-08 | 公开 | 公开 |
| 2018-09-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/022 申请日:20020924 授权公告日:20060118 终止日期:20170924 |
| 2012-06-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101392726788 IPC(主分类):G03F 7/022 专利号:ZL028032098 变更事项:专利权人 变更前权利人:AZ电子材料(日本)株式会社 变更后权利人:AZ电子材料IP(日本)株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 登记生效日:20120522 |
| 2006-01-18 | 授权 | 授权 |
| 2005-04-20 | 专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移 变更事项:申请人 变更前权利人:克拉瑞特国际有限公司 变更后权利人:AZ电子材料(日本)株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:瑞士穆滕茨 变更后权利人:日本东京都 登记生效日:20050318 |