自对准内栅凹陷沟道晶体管及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410010450.5

申请日：

2004-07-22

公开(公告)号：

CN1649111A

公开(公告)日：

2005-08-03

发明(设计)人：

金志永赵昶贤申树浩郑泰永

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2978

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李晓舒;魏晓刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-08-03	公开	公开
2006-08-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101004079229 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2004100104505 公开日:20050803

共 50 条

[1]

具有凹陷栅的晶体管及其制造方法 [P].

卢径奉 ;

殷庸硕 ;

李美梨 .

中国专利 :CN103515243A ,2014-01-15

[2]

凹陷沟道阵列晶体管及其制造方法 [P].

里夏德·约翰内森·卢伊肯 ;

汉斯－彼德·莫尔 ;

马丁·波普 ;

帝尔·施洛瑟 ;

亚历山大·塞克 ;

斯蒂芬·斯莱斯塞克 ;

马克·斯查瑟 ;

罗尔夫·韦兹 .

中国专利 :CN100423235C ,2006-11-01

[3]

沟槽栅晶体管及其制造方法 [P].

王培林 ;

E·D·德弗莱萨特 ;

李文漪 .

中国专利 :CN103872122A ,2014-06-18

[4]

双栅晶体管及其制造方法 [P].

王新鹏 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103022124B ,2013-04-03

[5]

超短沟道晶体管及其制造方法 [P].

谢立 ;

张广宇 ;

时东霞 .

中国专利 :CN106653854A ,2017-05-10

[6]

应变沟道晶体管及其制造方法 [P].

丁明镇 .

中国专利 :CN1905211A ,2007-01-31

[7]

具有凹陷沟道的晶体管及其制造方法 [P].

赵哲晧 .

中国专利 :CN101211977B ,2008-07-02

[8]

晶体管及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

朱慧珑 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN102468166A ,2012-05-23

[9]

晶体管及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

朱慧珑 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN102468165A ,2012-05-23

[10]

晶体管及其制造方法 [P].

尹海洲 ;

朱慧珑 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN102468164A ,2012-05-23

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