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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-12-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2011-04-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101081115638 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2005101264366 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京圆合电子技术有限责任公司 变更后权利人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 登记生效日:20110311 |
| 2018-08-24 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:专利权人 变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更后:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 2006-10-18 | 公开 | 公开 |
| 2008-10-01 | 授权 | 授权 |