晶片举升装置及举升方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200510126436.6
申请日
2005-12-09
公开(公告)号
CN100423224C
公开(公告)日
2006-10-18
发明(设计)人
王志升
申请人
申请人地址
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
IPC主分类号
H01L21683
IPC分类号
H01L2100
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人
向华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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