铜互连结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110236698.3

申请日：

2011-08-17

公开(公告)号：

CN102956539B

公开(公告)日：

2013-03-06

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-21	授权	授权
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101430317840 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102366983 申请日:20110817
2013-03-06	公开	公开

共 50 条

[1]

铜互连结构及其制造方法 [P].

杨智超 ;

M.A.伯根达尔 ;

D.V.霍勒克 ;

李保振 ;

S.波诺思 .

中国专利 :CN103811464B ,2014-05-21

[2]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103247601B ,2013-08-14

[3]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103258779B ,2013-08-21

[4]

铜互连结构及其制备方法 [P].

王德进 ;

周耀辉 .

中国专利 :CN111370363A ,2020-07-03

[5]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

曾绍海 .

中国专利 :CN102915958A ,2013-02-06

[6]

铜互连结构的制造方法 [P].

薛兴坤 ;

李新磊 ;

王鹏飞 ;

韩岩岩 ;

于卫国 .

中国专利 :CN114783946A ,2022-07-22

[7]

铜互连结构及其制作方法 [P].

赵宇航 ;

康晓旭 .

中国专利 :CN102376684B ,2012-03-14

[8]

铜互连结构的制作方法 [P].

洪明杰 ;

贾晓峰 ;

陈献龙 .

中国专利 :CN115036270A ,2022-09-09

[9]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

曾绍海 ;

李铭 .

中国专利 :CN107256845A ,2017-10-17

[10]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

朱宝 ;

陈琳 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN112018077A ,2020-12-01

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