微光刻投射曝光设备的照明系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210400890.6

申请日：

2008-09-10

公开(公告)号：

CN102866600A

公开(公告)日：

2013-01-09

发明(设计)人：

达米安.菲奥尔卡丹尼尔.沃尔多夫英戈.桑格

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

吴艳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-09	公开	公开
2015-06-17	授权	授权
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101397924814 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012104008906 申请日:20080910

共 50 条

[1]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

达米安·菲奥尔卡 ;

丹尼尔·沃尔多夫 ;

英戈·桑格 .

中国专利 :CN101802715A ,2010-08-11

[2]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

简.霍恩 ;

克里斯琴.肯普特 ;

沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特 .

中国专利 :CN103034075A ,2013-04-10

[3]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

达米安·菲奥尔卡 ;

拉尔夫·米勒 ;

安德拉斯·梅杰 .

中国专利 :CN101762987B ,2010-06-30

[4]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

尼尔斯·迪克曼 ;

曼弗雷德·莫尔 ;

克里斯琴·赫蒂奇 ;

奥利弗·纳特 .

中国专利 :CN101636695B ,2010-01-27

[5]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M·德冈瑟 ;

V·戴维登科 ;

T·科布 ;

F·施莱塞纳 ;

S·希尔特 ;

W·霍吉利 .

中国专利 :CN104656378B ,2015-05-27

[6]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

斯蒂芬.泽尔特 ;

关彦彬 ;

安德拉斯.G.梅杰 ;

曼弗雷德.莫尔 ;

约翰尼斯.艾森门格 ;

达米安.菲奥尔卡 ;

简.霍恩 ;

马库斯.德冈瑟 ;

弗洛里安.巴赫 ;

迈克尔.帕特拉 ;

约翰尼斯.万格勒 ;

迈克尔.莱 .

中国专利 :CN103345128A ,2013-10-09

[7]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M.德冈瑟 ;

V.戴维登科 ;

T.科布 ;

F.施莱塞纳 ;

S.希尔特 ;

W.霍格勒 .

中国专利 :CN105745580B ,2016-07-06

[8]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

迪特尔.巴德 .

中国专利 :CN102356353A ,2012-02-15

[9]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M·德冈瑟 ;

V·戴维登科 ;

T·科布 ;

F·施莱塞纳 ;

S·希尔特 ;

W·霍吉利 .

中国专利 :CN104656379A ,2015-05-27

[10]

微光刻投射曝光设备的照明系统 [P].

M.帕特拉 ;

S.比林 ;

M.德冈瑟 ;

F.施莱森纳 ;

M.施瓦布 .

中国专利 :CN102859440A ,2013-01-02

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