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吸附装置及制备柔性器件的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011636450.1
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN114121752A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
高卓
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市广州中新广州知识城凤凰三路17号自编五栋388
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2732
B82Y4000
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
林青中
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20201231 |