一种真空镀膜设备用真空缓冲室

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320199063.5

申请日：

2013-04-19

公开(公告)号：

CN203513791U

公开(公告)日：

2014-04-02

发明(设计)人：

薛辉昌江

申请人：

申请人地址：

241009 安徽省芜湖市经济技术开发区银湖北路科创中心B-302

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107

代理人：

马荣

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20130419 授权公告日:20140402 终止日期:20180419
2014-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P].

刘洁雅 .

中国专利 :CN202148346U ,2012-02-22

[2]

一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P].

吕清水 .

中国专利 :CN217499396U ,2022-09-27

[3]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[4]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[5]

真空镀膜腔室和真空镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 ;

杨虎 .

中国专利 :CN216006008U ,2022-03-11

[6]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[7]

真空封闭门、真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN221956186U ,2024-11-05

[8]

真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备 [P].

刘洁雅 .

中国专利 :CN202126941U ,2012-01-25

[9]

真空镀膜室 [P].

郭书周 .

中国专利 :CN206015078U ,2017-03-15

[10]

真空镀膜设备用抽真空装置 [P].

孙婧 ;

李卫东 ;

同建辉 .

中国专利 :CN205473968U ,2016-08-17

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