蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680041485.6

申请日：

2016-06-21

公开(公告)号：

CN107849685A

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

水谷和挥片山幸祐

申请人：

申请人地址：

日本爱知县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

青炜;尹文会

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-11	授权	授权
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20160621
2018-03-27	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀源和蒸镀装置 [P].

刘浩 ;

李彦松 ;

白珊珊 ;

关新兴 ;

曾琪皓 ;

沈阔 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 .

中国专利 :CN116005114B ,2024-07-23

[2]

蒸镀装置以及蒸镀设备 [P].

夏禹 ;

张正川 ;

王鹏 ;

王淼 .

中国专利 :CN109440068A ,2019-03-08

[3]

蒸镀装置 [P].

吉田雄一 ;

柳堀文嗣 .

中国专利 :CN109898060A ,2019-06-18

[4]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

刘晓云 .

中国专利 :CN109023260A ,2018-12-18

[5]

真空蒸镀装置 [P].

金信真理子 ;

藤本英志 ;

大工博之 ;

松本祐司 ;

千住直辉 .

中国专利 :CN105316625B ,2016-02-10

[6]

真空蒸镀装置 [P].

冈田利幸 ;

藤本惠美子 ;

大工博之 .

中国专利 :CN202786404U ,2013-03-13

[7]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339A ,2022-04-05

[8]

蒸镀源及蒸镀方法 [P].

刘金彪 ;

李元星 ;

刘文豪 ;

肖昂 ;

罗楠 ;

晋亚杰 ;

胡斌 ;

李靖 ;

加新星 ;

姬磊 ;

沈萌 ;

孙尚书 ;

高俊 ;

周杰 ;

刘飞 ;

李端瑞 ;

兰代江 ;

党博谭 ;

王天昊 ;

祁泽宙 ;

尹茂吉 .

中国专利 :CN114277339B ,2024-07-16

[9]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李发顺 .

中国专利 :CN108754428A ,2018-11-06

[10]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

马昆松 ;

梁作 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN221566290U ,2024-08-20

← 1 2 3 4 5 →