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圆盘状加热器以及加热器冷却板组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680074971.8
申请日：
2016-12-26
公开(公告)号：
CN108475656A
公开(公告)日：
2018-08-31
发明(设计)人：
竹林央史
鸟居谦悟
申请人：
申请人地址：
日本爱知县
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
金成哲;王莉莉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-31 | 公开 | 公开 |
| 2019-01-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20161226 |