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小型真空腔体的温控系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721314924.4
申请日：
2017-10-12
公开(公告)号：
CN207488844U
公开(公告)日：
2018-06-12
发明(设计)人：
严阿根
申请人：
申请人地址：
313216 浙江省湖州市德清县乾元新材料园区乌牛山路9号
IPC主分类号：
G05D2319
IPC分类号：
代理机构：
杭州九洲专利事务所有限公司 33101
代理人：
张继锋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-12 | 授权 | 授权 |