一种简易的PVD真空镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201820205326.1
申请日
2018-02-06
公开(公告)号
CN208008879U
公开(公告)日
2018-10-26
发明(设计)人
黄正勇 周文忠 黄国辉 黄建朝 吴迪
申请人
申请人地址
523000 广东省东莞市长安镇沙头社区东大路一街8号3楼
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
代理机构
上海精晟知识产权代理有限公司 31253
代理人
冯子玲
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种简易的PVD真空镀膜装置 [P]. 
罗源 ;
任粒 ;
张纯 ;
刘伟 ;
伍玉娇 .
中国专利 :CN206843576U ,2018-01-05
[2]
一种高效真空镀膜装置 [P]. 
黄正勇 ;
周文忠 ;
黄国辉 ;
黄建朝 ;
吴迪 .
中国专利 :CN208008881U ,2018-10-26
[3]
一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉 [P]. 
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[4]
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叶挺 .
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
一种镀膜均匀的真空镀膜装置 [P]. 
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[9]
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卢昊辰 ;
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[10]
一种PVD真空镀膜设备 [P]. 
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