一种镀膜均匀的真空镀膜设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921931023.9
申请日
2019-11-08
公开(公告)号
CN211170855U
公开(公告)日
2020-08-04
发明(设计)人
张新岳
申请人
申请人地址
518105 广东省深圳市宝安区松岗街道燕川社区新达路13号厂房
IPC主分类号
C23C1426
IPC分类号
C23C1432 C23C1456
代理机构
上海波拓知识产权代理有限公司 31264
代理人
周志中
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种镀膜均匀的真空镀膜设备 [P]. 
尹刚 ;
张华静 ;
陈嘉伟 .
中国专利 :CN222729871U ,2025-04-08
[2]
一种镀膜均匀的真空镀膜装置 [P]. 
杜斌 ;
卢军 .
中国专利 :CN215050638U ,2021-12-07
[3]
一种镀膜均匀的真空镀膜装置 [P]. 
谢廷伟 ;
刘维松 ;
彭学实 .
中国专利 :CN211036085U ,2020-07-17
[4]
真空镀膜设备 [P]. 
张果 ;
王伟 ;
姜玉伦 ;
张鑫 ;
唐钺丰 ;
段晓英 .
中国专利 :CN202881380U ,2013-04-17
[5]
一种镀膜厚度均匀的真空镀膜设备 [P]. 
胡冀 ;
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[6]
一种镀膜均匀的真空镀膜机构 [P]. 
王志鹏 ;
廖志清 ;
廖雯 .
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[7]
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[8]
真空镀膜室及真空镀膜设备 [P]. 
谭立 ;
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[9]
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[10]
一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备 [P]. 
吕清水 .
中国专利 :CN217499396U ,2022-09-27