共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
真空机械手
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011350869.0
申请日：
2020-11-26
公开(公告)号：
CN112490164A
公开(公告)日：
2021-03-12
发明(设计)人：
赵海洋
尹子剑
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21683
H01L2167
B25J1100
B25J1902
C23C16458
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
施敬勃
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-03-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20201126 |