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一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置
被引：0
申请号：
CN202220308268.1
申请日：
2022-02-16
公开(公告)号：
CN216947174U
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
刘亮
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579
代理人：
黄利萍
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-12 | 授权 | 授权 |