基于MEMS的柔性流速传感器的流速测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510909210.7

申请日：

2015-12-10

公开(公告)号：

CN105548606B

公开(公告)日：

2016-05-04

发明(设计)人：

崔峰曾庆贵杨刚陈文元张卫平吴校生刘武

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G01P512

IPC分类号：

代理机构：

上海交达专利事务所 31201

代理人：

王毓理;王锡麟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	公开	公开
2018-09-21	授权	授权
2016-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101662923875 IPC(主分类):G01P 5/12 专利申请号:2015109092107 申请日:20151210

共 50 条

[1]

基于MEMS的流速传感器、流速测量电路及方法 [P].

温赛赛 ;

胡慧珊 ;

马硕 ;

王新亮 .

中国专利 :CN107643421A ,2018-01-30

[2]

基于MEMS的流速传感器、流速测量电路 [P].

温赛赛 ;

胡慧珊 ;

马硕 ;

王新亮 .

中国专利 :CN207423990U ,2018-05-29

[3]

基于非晶锗热电阻的柔性MEMS流速传感器 [P].

崔峰 ;

涂云婷 ;

冯剑玮 ;

赵韦良 ;

张卫平 .

中国专利 :CN112730886A ,2021-04-30

[4]

基于自加热非晶锗热电阻的柔性MEMS流速传感器 [P].

崔峰 ;

冯剑玮 ;

涂云婷 ;

赵韦良 ;

张卫平 .

中国专利 :CN112730945A ,2021-04-30

[5]

流速测量传感器 [P].

王文襄 ;

朱金宝 ;

李水侠 ;

杨成 ;

王利强 ;

戴晓兵 .

中国专利 :CN101382563A ,2009-03-11

[6]

流速传感器及流速测量系统 [P].

田禾 ;

李骁时 .

中国专利 :CN117741178A ,2024-03-22

[7]

一种基于热传递原理的柔性MEMS流速传感器 [P].

王庆贺 ;

孙晓冬 ;

郑利华 ;

黎蕾 ;

顾林 .

中国专利 :CN220913156U ,2024-05-07

[8]

MEMS传感器、基于MEMS传感器的热力参数测量方法 [P].

陶智 ;

李秋实 ;

李海旺 ;

谭啸 ;

徐天彤 ;

余明星 .

中国专利 :CN105783995A ,2016-07-20

[9]

流速测量方法 [P].

何立同 ;

赵雅菊 ;

王仁伟 ;

方晶 ;

钱金松 ;

钟珂 ;

隋雅君 .

中国专利 :CN106771334A ,2017-05-31

[10]

基于微光纤耦合器的微流速传感器及其测量方法 [P].

徐飞 ;

严少诚 ;

刘增勇 ;

陆延青 ;

胡伟 .

中国专利 :CN106526227A ,2017-03-22

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