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单晶硅片的清洗工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110230941.0
申请日：
2011-08-12
公开(公告)号：
CN102327882A
公开(公告)日：
2012-01-25
发明(设计)人：
孙亮湖
申请人：
申请人地址：
214181 江苏省无锡市惠山区前洲街道洛洲路8号
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
代理机构：
无锡市大为专利商标事务所 32104
代理人：
殷红梅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-01-25 | 公开 | 公开 |
| 2012-03-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101203918678 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:2011102309410 申请日:20110812 |
| 2014-04-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101699746012 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:2011102309410 申请公布日:20120125 |