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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-04-10 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G01R 19/00 变更事项:申请人 变更前:精工半导体有限公司 变更后:艾普凌科有限公司 变更事项:地址 变更前:日本千叶县 变更后:日本千叶县 |
| 2019-09-03 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 19/00 申请日:20160316 |
| 2016-10-05 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-25 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 19/00 申请日:20160316 授权公告日:20190903 终止日期:20210316 |