投影物镜偏振像差测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810712998.6

申请日：

2018-06-29

公开(公告)号：

CN110657954B

公开(公告)日：

2020-01-07

发明(设计)人：

倪晟

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-07	公开	公开
2020-09-22	授权	授权
2020-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20180629

共 50 条

[1]

基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法 [P].

段立峰 ;

王向朝 ;

徐东波 .

中国专利 :CN102681358B ,2012-09-19

[2]

一种投影物镜波像差测量装置及测量方法 [P].

马明英 ;

王帆 .

中国专利 :CN102073218A ,2011-05-25

[3]

一种光刻机投影物镜波像差的测量方法 [P].

刘世元 ;

许爽 ;

龚朋 ;

周新江 ;

吕稳 .

中国专利 :CN103616802A ,2014-03-05

[4]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

沈丽娜 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

闫观勇 ;

诸波尔 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105319869B ,2016-02-10

[5]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

涂远莹 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197512B ,2013-07-10

[6]

投影物镜波像差测量装置和方法 [P].

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN102081308A ,2011-06-01

[7]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[8]

光刻投影物镜远心测量方法 [P].

杨之文 .

中国专利 :CN100526990C ,2007-01-03

[9]

测量投影物镜波像差的装置及方法 [P].

马明英 ;

王帆 .

中国专利 :CN102768471A ,2012-11-07

[10]

基于多偏振照明的光刻投影物镜高阶波像差检测方法 [P].

诸波尔 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

张恒 ;

孟泽江 ;

步扬 .

中国专利 :CN108020400A ,2018-05-11

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