基于离子注入的球面电极微半球谐振陀螺仪的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811118555.0

申请日：

2018-09-20

公开(公告)号：

CN109115243B

公开(公告)日：

2019-01-01

发明(设计)人：

王新龙喻磊庄须叶王帆曹卫达吕杰

申请人：

申请人地址：

233000 安徽省蚌埠市经济开发区汤和路2016号

IPC主分类号：

G01C2500

IPC分类号：

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113

代理人：

陈俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	授权	授权
2019-01-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 25/00 申请日:20180920
2019-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种球面电极微半球谐振陀螺仪及其制备方法 [P].

王新龙 ;

姜楠 ;

王得收 .

中国专利 :CN110530352A ,2019-12-03

[2]

一种外球面电极半球谐振陀螺仪 [P].

陈仲恒 ;

刘莹 ;

雷济瑜 ;

李乐 ;

马志奎 ;

卜石 .

中国专利 :CN117889836A ,2024-04-16

[3]

一种外球面电极半球谐振陀螺仪 [P].

陈仲恒 ;

刘莹 ;

雷济瑜 ;

李乐 ;

马志奎 ;

卜石 .

中国专利 :CN117889836B ,2024-06-11

[4]

基于SOI的双电极微柱形谐振陀螺仪的制备方法 [P].

王新龙 ;

喻磊 ;

庄须叶 ;

郭立建 ;

张胜兵 ;

宋东方 .

中国专利 :CN109186575A ,2019-01-11

[5]

半球谐振陀螺仪的底座 [P].

李佳琪 ;

涂勇强 ;

林北辰 ;

庄媛 ;

陈泠璇 .

中国专利 :CN308583570S ,2024-04-16

[6]

基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 [P].

张卫平 ;

唐健 ;

刘亚东 ;

汪濙海 ;

成宇翔 ;

孙殿竣 ;

邢亚亮 ;

陈文元 .

中国专利 :CN104197910B ,2014-12-10

[7]

一种基于PCB平面电极的半球谐振陀螺仪及其加工组装方法 [P].

夏敦柱 ;

颜冲 ;

金伟明 .

中国专利 :CN108731660A ,2018-11-02

[8]

一种半球谐振陀螺仪的双模控制方法 [P].

刘伟达 ;

陈建宇 ;

章英 .

中国专利 :CN120252671B ,2025-11-28

[9]

一种半球谐振陀螺仪的双模控制方法 [P].

刘伟达 ;

陈建宇 ;

章英 .

中国专利 :CN120252671A ,2025-07-04

[10]

内外电极间隙精确控制的微半球谐振陀螺仪及其加工方法 [P].

夏敦柱 ;

黄泠潮 ;

徐磊 .

中国专利 :CN107389050B ,2017-11-24

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