射频离子源系统及离子源设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922501752.7

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN210866112U

公开(公告)日：

2020-06-26

发明(设计)人：

刘伟基冀鸣赵刚易洪波曾文华刘运鸿吴秋生

申请人：

申请人地址：

528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室

IPC主分类号：

H01J3708

IPC分类号：

H01J3732 H01J3709

代理机构：

北京市立方律师事务所 11330

代理人：

刘延喜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[2]

射频离子源 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215771057U ,2022-02-08

[3]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

[4]

射频离子源设备 [P].

张洪国 ;

夏益伟 ;

唐继远 ;

徐冉 ;

张浩宇 ;

王旭敏 .

中国专利 :CN308586236S ,2024-04-16

[5]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

[6]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[7]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

[8]

射频离子源 [P].

M·L·兰富德 ;

J·F·J·托德 .

中国专利 :CN1061781C ,1998-03-04

[9]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

郑培鑫 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN221264042U ,2024-07-02

[10]

射频离子源供电结构、射频离子源及真空镀膜机 [P].

曾文华 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN215815785U ,2022-02-11

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