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一种靶材背板结构
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201821044039.3
申请日
:
2018-07-03
公开(公告)号
:
CN208733208U
公开(公告)日
:
2019-04-12
发明(设计)人
:
孙伟华
申请人
:
申请人地址
:
221000 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路南侧、沂蒙山路西侧
IPC主分类号
:
C23C1432
IPC分类号
:
C23C1435
代理机构
:
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人
:
梁永昌
法律状态
:
著录事项变更
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-08-27
著录事项变更
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/32 变更事项:发明人 变更前:孙伟华 变更后:孔伟华
2019-04-12
授权
授权
共 50 条
[1]
靶材背板结构
[P].
连汉滨
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0
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0
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0
连汉滨
.
中国专利
:CN202063989U
,2011-12-07
[2]
一种半导体晶圆制造靶材背板结构
[P].
代绍明
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代绍明
.
中国专利
:CN216213285U
,2022-04-05
[3]
靶材背板
[P].
姚力军
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姚力军
;
相原俊夫
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相原俊夫
;
大岩一彦
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大岩一彦
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
李晓瑜
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李晓瑜
.
中国专利
:CN202830156U
,2013-03-27
[4]
一种靶材背板
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
陈琛
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陈琛
.
中国专利
:CN215103499U
,2021-12-10
[5]
一种靶材背板
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
陈文庆
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陈文庆
.
中国专利
:CN214937784U
,2021-11-30
[6]
靶材背板
[P].
周磊
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周磊
;
窦沛静
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窦沛静
;
张竞中
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张竞中
.
中国专利
:CN213835519U
,2021-07-30
[7]
一种背板结构
[P].
胡泽泰
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胡泽泰
.
中国专利
:CN208224952U
,2018-12-11
[8]
一种背板结构
[P].
徐晓冬
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徐晓冬
;
曾宇
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曾宇
.
中国专利
:CN200997092Y
,2007-12-26
[9]
一种背板结构
[P].
徐剑
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徐剑
;
陈裕金
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陈裕金
;
朱敬涛
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朱敬涛
.
中国专利
:CN206669415U
,2017-11-24
[10]
背板结构
[P].
陈丽勤
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陈丽勤
;
刘兴国
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刘兴国
;
王德飞
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王德飞
.
中国专利
:CN207354479U
,2018-05-11
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