三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780024481.8

申请日：

2007-10-26

公开(公告)号：

CN101479192A

公开(公告)日：

2009-07-08

发明(设计)人：

水岛一树漆原诚

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

吴娟;李平英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-07-08	公开	公开
2014-08-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101704519111 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:2007800244818 申请公布日:20090708

共 50 条

[1]

三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置 [P].

水岛一树 ;

漆原诚 .

中国专利 :CN103553055A ,2014-02-05

[2]

三氯硅烷的制备方法和三氯硅烷的制备装置 [P].

水岛一树 ;

清水祐司 .

中国专利 :CN101479193A ,2009-07-08

[3]

制备三氯硅烷的方法 [P].

鲁道尔夫·格里斯哈默 ;

弗兰茨·科普尔 ;

弗兰茨·施赖德 .

中国专利 :CN1153138A ,1997-07-02

[4]

制备三氯硅烷的方法 [P].

E.米 ;

H.劳莱德 ;

B.诺维齐基 .

中国专利 :CN103180247A ,2013-06-26

[5]

三氯硅烷的制备 [P].

M·索博塔 ;

A·阿尔贝 .

中国专利 :CN105408251A ,2016-03-16

[6]

制备三氯硅烷的方法 [P].

金吉浩 ;

金俊焕 ;

朴奎学 ;

李东昊 .

中国专利 :CN106536409A ,2017-03-22

[7]

制备三氯硅烷的方法 [P].

金吉浩 ;

安贵龙 ;

李元翼 ;

金俊焕 ;

朴奎学 .

中国专利 :CN105324333A ,2016-02-10

[8]

三氯硅烷的制造方法 [P].

秋吉彩生 ;

相本忠 .

中国专利 :CN102753478B ,2012-10-24

[9]

三氯硅烷的制备方法和制备装置以及多晶硅的制备方法 [P].

斋木涉 ;

水岛一树 ;

漆原诚 .

中国专利 :CN101679045B ,2010-03-24

[10]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法 [P].

石井敏由记 ;

驹井荣治 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN101643213A ,2010-02-10

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