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一种带有过滤结构的截齿离子镀膜机用进气装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820844271.9
申请日：
2018-06-01
公开(公告)号：
CN208308943U
公开(公告)日：
2019-01-01
发明(设计)人：
李迎春
李晗
尤伟
申请人：
申请人地址：
750001 宁夏回族自治区银川市银川开发区中小企业创业基地3号厂房
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20180601 授权公告日:20190101 终止日期:20190601 |
| 2019-01-01 | 授权 | 授权 |