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一种集成电路生产用排气节能设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022768208.1
申请日：
2020-11-26
公开(公告)号：
CN213988830U
公开(公告)日：
2021-08-17
发明(设计)人：
吴桂泉
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区龙华街道玉翠社区昌永路和平工业园B号1层、2层
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
F25D3100
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-17 | 授权 | 授权 |