蒸镀方法和蒸镀系统

被引：0

申请号：

CN202111452593.1

申请日：

2021-12-01

公开(公告)号：

CN114318235A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

赵晶晶付佳刘明星周皓月赵栋

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇晨丰路188号3号房

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 C23C1454 H01L5156

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

成丽杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20211201
2022-04-12	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀方法和蒸镀系统 [P].

赵晶晶 ;

付佳 ;

刘明星 ;

周皓月 ;

赵栋 .

中国专利 :CN114318235B ,2024-02-09

[2]

蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

魏锋 ;

李金川 ;

谭伟 .

中国专利 :CN107435136A ,2017-12-05

[3]

蒸镀组件及蒸镀系统 [P].

王浩田 ;

陶敏 ;

杨小翠 .

中国专利 :CN208965014U ,2019-06-11

[4]

蒸镀方法、蒸镀装置和发光器件 [P].

陈俊生 ;

李成 .

中国专利 :CN103484818A ,2014-01-01

[5]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 ;

袁广才 .

中国专利 :CN115216737B ,2024-03-26

[6]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

杨成发 ;

尹志 ;

王琦 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN107815649B ,2018-03-20

[7]

蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

纪姣姣 .

中国专利 :CN119640211A ,2025-03-18

[8]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

赵文炎 ;

王彦青 .

中国专利 :CN112813383A ,2021-05-18

[9]

蒸镀设备及蒸镀方法 [P].

丁立薇 ;

党鹏乐 ;

朱晖 ;

张小宝 .

中国专利 :CN105154820B ,2015-12-16

[10]

蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

曲燕 ;

康亮亮 ;

靳倩 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 .

中国专利 :CN117660888A ,2024-03-08

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