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一种反应室及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120245953.X
申请日：
2021-01-28
公开(公告)号：
CN215249591U
公开(公告)日：
2021-12-21
发明(设计)人：
孙华
申请人：
申请人地址：
201401 上海市奉贤区肖塘路255弄10号1层
IPC主分类号：
C01B32186
IPC分类号：
代理机构：
北京八月瓜知识产权代理有限公司 11543
代理人：
白鹤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-21 | 授权 | 授权 |