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一种等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210237834.5
申请日：
2012-07-09
公开(公告)号：
CN103540891A
公开(公告)日：
2014-01-29
发明(设计)人：
王文东
闫坤坤
黄春
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
IPC主分类号：
C23C410
IPC分类号：
代理机构：
北京华沛德权律师事务所 11302
代理人：
刘丽君
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-09-30 | 授权 | 授权 |
| 2014-03-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101576172354 IPC(主分类):C23C 4/10 专利申请号:2012102378345 申请日:20120709 |
| 2014-01-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 4/10 登记生效日:20201221 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 变更后权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601 |
| 2022-05-10 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 4/10 登记生效日:20220428 变更事项:专利权人 变更前权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司 变更后权利人:锐立平芯微电子（广州）有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601 变更后权利人:510000 广东省广州市黄埔区开发大道348号建设大厦710室 |