一种表面等离激元成像光刻结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310490996.4

申请日：

2013-10-20

公开(公告)号：

CN103499913A

公开(公告)日：

2014-01-08

发明(设计)人：

石建平米佳佳张青张颖姚敏

申请人：

申请人地址：

241002 安徽省芜湖市花津南路

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101570122345 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013104909964 申请日:20131020
2016-02-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728046620 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013104909964 申请公布日:20140108
2014-01-08	公开	公开

共 50 条

[1]

一种表面等离激元成像光刻结构 [P].

石建平 ;

米佳佳 ;

张青 ;

张颖 ;

姚敏 .

中国专利 :CN203490456U ,2014-03-19

[2]

人工表面等离激元波导结构 [P].

崔文怡 ;

杜晓宇 ;

唐朝阳 ;

尹应增 .

中国专利 :CN207690975U ,2018-08-03

[3]

一种表面等离激元编码单元及表面等离激元编码芯片 [P].

杜乐娜 ;

董建杰 ;

刘前 .

中国专利 :CN109473125A ,2019-03-15

[4]

一种表面等离激元开关 [P].

钟阳万 ;

李文浩 ;

吴亮 ;

王尉燃 ;

张仁金 ;

严世杰 ;

王锋 ;

钟志诚 .

中国专利 :CN120630525A ,2025-09-12

[5]

一种表面等离激元开关 [P].

钟阳万 ;

李文浩 ;

吴亮 ;

王尉燃 ;

张仁金 ;

严世杰 ;

王锋 ;

钟志诚 .

中国专利 :CN120630525B ,2025-10-17

[6]

表面等离激元波导 [P].

张家森 ;

胡闯 ;

徐亮 ;

金勇 ;

朴硏相 .

中国专利 :CN105334573A ,2016-02-17

[7]

一种表面等离激元掩模板 [P].

冯慧敏 ;

董建杰 ;

刘前 .

中国专利 :CN111381435A ,2020-07-07

[8]

一种表面等离激元制备装置 [P].

况亚伟 ;

刘玉申 ;

薛春荣 ;

马玉龙 ;

杨希峰 ;

冯金福 .

中国专利 :CN204834659U ,2015-12-02

[9]

一种表面等离激元同轴光波导结构 [P].

康俊勇 ;

庄庆瑞 ;

冯夏 .

中国专利 :CN101363939A ,2009-02-11

[10]

一种电驱动表面等离激元光源结构 [P].

刘黎明 ;

迟锋 ;

张小文 ;

易子川 ;

张智 ;

吴艳花 .

中国专利 :CN110058434A ,2019-07-26

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